產(chǎn)品中心
PRODUCT CENTER
聯(lián)系我們 /Contact us
產(chǎn)品詳情
小型RTP快速退火爐
型號(hào)：RTP1000S 此款小型快速退火爐是集成儀巧妙的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和獨(dú)特的加熱方式與一體，使得體積和功率都大幅減小的同時(shí)，升降溫速率卻比傳統(tǒng)退火爐提升了數(shù)倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空，滿(mǎn)足了很多用戶(hù)對(duì)小樣品快速退火的工藝要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火
Ø 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長(zhǎng)
Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 擴(kuò)散 (Diffusion);
Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 電極合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);
主要特點(diǎn)
Ø 極速升溫20℃/S，極速降溫20℃/S；
Ø 控溫穩(wěn)定，恒溫精度≤1℃
Ø 體積小巧，使用功率只有1kw；
Ø 高光線反射效率，無(wú)需爐膛保溫；
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | 小型快速退火爐 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | RTP1000S |
| 極限溫度 | 1000℃ |
| 額定溫度 | 1000℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 最快升溫速率 | 20℃/S(900-1000℃升溫3-5℃/S) |
| 最快降溫速率 | 隨爐冷卻75℃/min 物料臺(tái)拉出降溫800℃/min |
| 控制方式 | 智能PID |
| 加熱方式 | 短波紅外線加熱 |
| 加熱腔體結(jié)構(gòu) | 石英管 |
| 樣品冷卻 | 自然冷卻或通入冷卻氣體 |
| 冷卻氣體調(diào)節(jié) | 浮子流量計(jì)(100～1000ml/min)（選配） |
| 超溫保護(hù) | 溫度出現(xiàn)過(guò)高時(shí)切斷主回路 |
| 恒溫區(qū)尺寸 | 35mm |
| 載料體尺寸 | 30*25mm |
| 傳感器類(lèi)型 | K型 |
| 真空系統(tǒng) | 1L/S 雙級(jí)聯(lián)真空系統(tǒng) CHY-4C（選配） |
| 整機(jī)真空度 | 3Pa（選配CHY-4C真空泵） |
| 抽氣端口尺寸 | KF25 |
| 供氣口尺寸 | 1/4英寸雙卡套 |
| 額定功率 | 1.5kw |
| 額定電壓 | AC220V,50Hz |
| 重量 | 15kg |
| 配件 | 坩堝鉗1把，說(shuō)明書(shū)1本。 |
| 外形尺寸 | 610x400x410（長(zhǎng)*寬*高） |
聯(lián)系我們 /Contact us
電話(huà)：0371-55027790 / 15637176302
地址：河南自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)鄭州片區(qū)(經(jīng)開(kāi))第十大街136號(hào)
集研發(fā)、制造、銷(xiāo)售、技術(shù)服務(wù)于一體的現(xiàn)代高科技企業(yè)
電話(huà)： 15637176302 / 13783475217
地址：河南省鄭州市高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)鄭州電子電器產(chǎn)業(yè)園
版權(quán)所有 © 河南成儀新型材料有限公司 豫ICP備2024057866號(hào)
掃一掃快速加好友咨詢(xún)
